8月11日，為期3天的第十一屆(2023年)中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會半導(dǎo)體設(shè)備年會暨產(chǎn)業(yè)鏈合作論壇在無錫落下帷幕。與會專家指出，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備已經(jīng)取得突破性進(jìn)展，海外設(shè)備進(jìn)口和本土設(shè)備銷售呈現(xiàn)“此消彼長”態(tài)勢，并預(yù)計2023年國產(chǎn)主要半導(dǎo)體設(shè)備制造商訂單有望穩(wěn)步增長。

本土設(shè)備突破性增長

中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會理事長、北方華創(chuàng)董事長趙晉榮在致辭中表示：“半導(dǎo)體設(shè)備是支撐電子行業(yè)發(fā)展的基石，中國半導(dǎo)體市場在過去11年來也規(guī)模化地持續(xù)發(fā)展。尤其是近年來在日益復(fù)雜的國際形勢下，本土設(shè)備行業(yè)更是取得了突破性進(jìn)步。”

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根據(jù)中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會統(tǒng)計，2022年，國內(nèi)77家規(guī)模以上半導(dǎo)體設(shè)備制造商銷售收入累計完成593億元，與2021年386億元相比，同比增長53.6%。其中，2022年前十家設(shè)備制造商完成銷售收入438億元，占77家合計收入73.9%。目前我國半導(dǎo)體設(shè)備及零部件企業(yè)的數(shù)量也已經(jīng)超過200家。

趙晉榮指出，過去幾年，國內(nèi)多家龍頭骨干裝備企業(yè)在刻蝕、薄膜、清洗、注入、CMP及封裝測試等關(guān)鍵設(shè)備方面取得了突破，本土從事材料零部件的龍頭企業(yè)也呈現(xiàn)出快速增長的態(tài)勢，在射頻電源、流量計、機(jī)械手、真空泵、精密石英、高純石墨、高純板材、特種不銹鋼及精細(xì)化工材料等方面都取得了突破性進(jìn)展。

面對疫情、世界經(jīng)濟(jì)衰退和外部壓力加大的三重沖擊，中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)在國內(nèi)市場的推動下，保持了快速發(fā)展態(tài)勢。在半導(dǎo)體設(shè)備細(xì)分賽道中，集成電路設(shè)備銷售收入2022年達(dá)到319億元，同比增長86.1%，增長速度最快，是實現(xiàn)銷售收入最多的市場，同時集成電路設(shè)備也是出口交貨值最大的賽道。

設(shè)備進(jìn)口或再度下降

中國是全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備市場，本土半導(dǎo)體設(shè)備市場在全球市場占比不到10%，但數(shù)據(jù)顯示，自2017年以來國內(nèi)集成電路裝備銷售額呈現(xiàn)指數(shù)級增長。

中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會常務(wù)副秘書長金存忠表示，在海外政策持續(xù)升級對華半導(dǎo)體管制背景下，下游用戶擔(dān)心未來斷供等風(fēng)險，使用國產(chǎn)設(shè)備的意愿更加強(qiáng)烈，進(jìn)一步推動了國產(chǎn)設(shè)備發(fā)展，同時，核心部件替代進(jìn)口也加快了設(shè)備產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程，設(shè)備核心部件國內(nèi)供應(yīng)鏈正在形成并得到快速發(fā)展。

根據(jù)協(xié)會統(tǒng)計，以銷售額為統(tǒng)計口徑，2022年國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備在中國市場占有率為23%，同比增長3.4個百分點；同時，在國產(chǎn)設(shè)備市場占有率提升背景下，海關(guān)數(shù)據(jù)顯示，去年主要半導(dǎo)體設(shè)備中國進(jìn)口額同比減少8.1%。其中，等離子體干法刻蝕機(jī)、化學(xué)氣相沉積設(shè)備(CVD)以及氧化、擴(kuò)散、退火及其他熱處理爐進(jìn)口規(guī)模位居前三，分別同比減少12.7%、11.9%和9.6%。

“預(yù)計2023年中國半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)口額會繼續(xù)減少。”金存忠介紹，海關(guān)統(tǒng)計數(shù)據(jù)顯示，今年上半年中國主要半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)口額為72.94億美元，同比減少13.3%。除分步重復(fù)光刻機(jī)、集成電路工廠專用自動搬運(yùn)機(jī)器人、研磨機(jī)和切割設(shè)備外，其余設(shè)備全部負(fù)增長，等離子體干法刻蝕機(jī)上半年進(jìn)口額甚至同比減少近三成。

相比設(shè)備進(jìn)口額預(yù)降，國產(chǎn)主要半導(dǎo)體設(shè)備制造商訂單有望穩(wěn)步增長。據(jù)協(xié)會預(yù)測，2023年國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備銷售收入增長38%左右，將達(dá)到817億元。其中，集成電路設(shè)備預(yù)計增長40%，達(dá)到450億元；其次第二大細(xì)分板塊太陽能電池片設(shè)備預(yù)計增長35%，達(dá)到310億元。

在行業(yè)周期低谷期，今年上半年A股半導(dǎo)體設(shè)備類上市公司業(yè)績逆勢增長。盛美上海最新公告，今年上半年公司實現(xiàn)凈利潤約4.39億元，同比增長85.74%，公司半導(dǎo)體清洗設(shè)備以及其他半導(dǎo)體設(shè)備的營業(yè)收入均有較大增長。北方華創(chuàng)預(yù)計今年上半年實現(xiàn)歸母凈利潤16.7億元~19.3億元，同比增長121.30%~155.76%；中微公司預(yù)計今年半年度實現(xiàn)歸母凈利潤9.8億元~10.3億元，同比增加109.49%~120.18%，扣非后凈利潤同比增加13.45%~22.53%。

產(chǎn)業(yè)鏈加強(qiáng)協(xié)作攻關(guān)

雖然國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備在諸多領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了從0到1的突破，但是關(guān)鍵設(shè)備、零部件以及滿足特殊工藝生產(chǎn)需求的國產(chǎn)半導(dǎo)設(shè)備依舊缺乏，良率、穩(wěn)定性等還待進(jìn)一步提升，在全球半導(dǎo)體設(shè)備市場的規(guī)模依舊偏小。

金存忠指出，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)一步發(fā)展，還亟需解決光刻機(jī)等關(guān)鍵設(shè)備國產(chǎn)化率低等問題，目前國產(chǎn)制造商能夠制造的主要是先進(jìn)封裝和LED領(lǐng)域的光刻機(jī)，而且光刻機(jī)的難點不僅在制造出來，還要保證設(shè)備的效率和良率。另外，關(guān)鍵零部件成本在設(shè)備進(jìn)口成本占比較大等問題，有的廠商反饋零部件成本占比高達(dá)六成。

作為半導(dǎo)體設(shè)備終端用戶，半導(dǎo)體制造廠商尤為關(guān)注生產(chǎn)效率和良率，就需要設(shè)備廠商與產(chǎn)業(yè)鏈進(jìn)一步合作，攻關(guān)克難。

“沒有95%以上的良率沒有把成本降下來，企業(yè)是不能生存的，而且生產(chǎn)的越多，虧損的越多。”中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會副秘書長、積塔半導(dǎo)體(上海)有限公司總工程師李晉湘表示，建議半導(dǎo)體制造企業(yè)和設(shè)備企業(yè)、材料廠商等進(jìn)一步深化合作，推動工藝持續(xù)進(jìn)步，不僅攻克具有經(jīng)濟(jì)效益規(guī)模而難度小的設(shè)備，也要挑戰(zhàn)量小而難度大的設(shè)備，并且加強(qiáng)半導(dǎo)體設(shè)備的配套軟件開發(fā)，建立和完善培訓(xùn)系統(tǒng)，讓國內(nèi)工程師能夠掌握和使用好本土設(shè)備。

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